产品概况
键合立式管式炉专为材料键合工艺打造,这款键合立式管式炉以全温域适配+双结构灵活切换为核心,精准匹配不同键合工艺的严苛要求,是半导体、光电材料研发的核心设备。
炉体核心采用氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能卓越;创新提供电阻丝、硅碳棒、硅钼棒三款加热元件选配,可根据实验温度需求灵活定制,覆盖从低温到超高温的全温域键合工艺。搭配程序控温系统,精准把控键合过程的温度曲线;炉管两端不锈钢法兰密封,集成真空与气路接口,可实现真空或保护气氛下的键合操作,保障键合质量。炉膛结构可选开启式或封闭式,既满足快速装卸样品的便捷性,也适配高精度连续键合实验的稳定性,用定制化性能助力材料键合工艺的高效突破。
技术参数
1、设备型号:GL1100、GL1200、GL1400、GL1600、GL1700
2、炉管尺寸:Φ20mm~Φ300mm(石英管/不锈钢管);Φ20mm~Φ150mm(刚玉管)
3、加热元件:电阻丝、硅碳棒、硅钼棒
4、测温元件:K型热电偶、S型热电偶、B型热电偶
5、控温方式:智能PID调节,微电脑控制,30段可编程式控温曲线,无需值守(全自动升温、恒温、降温)
6、真空度:标配机械压力表-0.1MPa/选配数显真空计1~100Pa
7、气氛保护:可通氮气,氩气等惰性气体(正压<0.02Mpa下使用)
8、加热区长度:100mm~1000mm/定制尺寸
9、工作温度:1050℃、1150℃、1350℃、1500℃、1600℃
10、控温精度:±1℃
11、工作电源:220V或380V
12、标准配件:密封法兰,“O”型圈,真空泵,管堵,高温手套,坩埚钩,装箱清单,发货回执单,《操作维修说明书》,《售后服务承诺书》
13、可选购附件:高、中、低真空系统,混气系统,液晶触摸屏,数显真空计,无纸记录仪,刚玉舟,石英舟,泄压阀尾气燃烧装置等