产品概况
区域熔炼炉是一款集成双操作试验工位的高效材料制备设备,核心基于区熔法原理实现材料提纯,专为半导体、高纯金属等领域的研发与小批量试验设计,大幅提升实验效率与空间利用率。
设备采用双工位独立布局,可同时开展两组区熔工艺试验,支持不同参数或相同材料的平行实验,有效缩短研发周期。整机结构紧凑,集成高精度温控与传动系统,确保熔区移动平稳、温度精准可控,为超高纯材料制备提供稳定工艺环境。双工位设计兼顾灵活性与实用性,适配科研院所多组实验并行推进的需求,是高端材料提纯研发的高效设备。
技术参数
1、产品型号:QRL1100
2、石英管尺寸:φ30~200*100~2000mm
3、工位数量:2套
4、加热方式:IGBT中频感应加热
5、工作电源:AC380V
6、额定功率:30KW*2套
7、常用温度:≤1050℃
8、设计温度:1100℃
9、推荐升温速度:1~10℃/min
10、控温方式:功率控制
11、加热元件:感应线圈
12、温度监测:红外测温仪(600-1200℃)
13、真空度:6.67*10-4pa(冷态空载)
14、充气方式:手动/自动,可通氮气、氩气(正压≤0.02MPa)
15、密封方式:不锈钢通水法兰挤压式密封
16、移动方式:高精度移动滑轨+高质量步进电机自动控制,行程300~1200mm可选