产品概况
JTL1600型单晶提拉炉是一款智能自动控制的单晶生长设备，其结构由炉体、真空、提拉、称重、加热、电控等六大系统组成，适配高端功能晶体的高质量生长。
炉体尺寸φ500*800mm，外壁采用304不锈钢，内壁316L不锈钢双层通水炉壁，侧开门配通水石英观察窗，兼顾密封与实时观察。真空系统搭载扩散泵机组，复合真空计精准监测，可快速建立稳定高真空环境。提拉机构通过滚珠丝杠驱动，应变式传感器称重，速度与转速触屏可调，支持故障报警与数据U盘导出。
加热系统采用石墨加热，热场均匀且易维护；电控系统配备14寸液晶触摸屏，控温精度±1℃，可预设多条加热曲线，超温时自动切断主回路并声光报警，保障实验安全与工艺重复性。
技术参数
1、熔料量：2～10Kg
2、工作温度：1500℃
3、设计温度：1600℃
4、控温精度：±1℃
5、真空炉室尺寸：φ500*800mm
6、炉壁材质：外壁采用304不锈钢，内壁316L不锈钢双层通水炉壁
7、炉门设计：侧开门+通水石英观察
8、极限真空度（冷炉）：≤6.67*10-2Pa
9、真空机组：扩散泵机组
10、真空测量：复合真空计
11、炉膛设计压力：≤0.03MPa
12、拉速范围：0.1～50mm/h
13、晶杆快升/快降：≥100mm/min
14、晶杆转速范围：1～50rpm
15、坩埚行程：150mm(可定制)
16、坩埚转速范围：5～15rpm
17、下降杆快升/快降：50mm/min
18、加热方式：石墨加热
19、电极中心距/数量：400mm（一对）
20、额定功率：50KW
21、电控界面：10寸液晶触摸屏
22、水冷系统：室外闭式循环冷却，流量10m³/h
23、数据管理：USB接口
热线电话 400-820-8727
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