高真空晶体炉

高真空晶体炉是一款IGBT感应加热的高端晶体制备设备，专为1600℃高温下的高纯氧化物晶体、压电晶体、氟化物晶体及激光晶体生长设计，适配科研院所及企事业单位实验室晶体生长设备。

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高端智能设备

产品概况

设备介绍：

设备采用感应加热模式，真空系统配备分子泵机组，冷炉极限真空达≤5*10^-3Pa，另设有充放气接口，可灵活切换真空或气氛工艺。

提拉旋转机构实现0.1-10mm/h慢速提拉与0.1-50r/min转速的高精度调节，搭配快速提拉功能提升操作效率；上下部密封均采用循环水冷却，保障设备长期稳定运行。整机通过液晶触摸屏界面实现升降、旋转、中频启停的程序化控制，三色指示灯实时预警故障，大幅降低人工监测成本，兼顾工艺精准度与操作安全性。

技术参数

1、加热方式：感应加热（坩埚封装于石英管内）

2、中频功率/频率：15KW/2.5kHz

3、坩埚规格：φ60*100mm

4、最高加热温度：1600℃

5、石英管规格：φ100*400mm

6、冷炉极限真空度：≤5*10^-3Pa

7、真空机组配置：分子泵（外置）

8、接口配置：抽真空接口、充放气口

9、慢速提拉速度：0.1-10mm/h

10、快速提拉速度：10-70mm/min

11、晶杆转速范围：1-50r/min