产品概况
超高布里奇曼晶体生长炉主要由磁流体密封、下降、控制与真空系统的精密化设计,专为碱土金属卤化物、氟化物单晶生长打造,兼顾工艺精准度与运行稳定性。
炉管采用耐高温石英管,搭配KF不锈钢通水法兰与磁流体双重密封,下法兰与焊接波纹管KF活接,既保障真空/气氛环境稳定,又能缓冲震动。伺服下降装置通过PLC+触摸屏控制,可实现慢速0.1-10mm/h与快速50-200mm/min的精准切换,长距离位移行程适配晶体生长。
控制系统采用14寸液晶触摸屏与PLC,支持智能编程与参数可视化设定;真空系统配置BSV40机械泵及电磁压差阀,金属波纹管连接减震,数显真空计精准监测,为单晶生长提供洁净、可控的工艺环境。
技术参数
1、设计温度:1100℃
2、工作温度:≤1000℃
3、加热功率:≤10KW±10%
4、加热方式:进口康泰尔电阻丝加热
5、加热区配置:多区独立控制
6、控温元件:进口马林K型热电偶
7、炉管材质/尺寸:耐高温石英管;φ60-120mm*800-1800mm
8、密封结构:KF不锈钢通水法兰密封+磁流体密封
9、控制方式:PLC+触摸屏
10、慢速:0.1-10mm/h(伺服控制)
11、快速:50-200mm/min(伺服控制)
12、位移行程:300-1500mm
13、温度控制:厦门宇电AI808P移相调压控制
14、位移控制PLC:三菱/汇川
15、操作功能:智能启停、暂停、程序设定、速度调节
16、配置组成:BSV40机械泵+电磁压差阀+充气阀+放气阀等
17、连接方式:金属波纹管
18、真空测量:数显真空计+真空压力表
19、极限真空度(冷态空载):≤50Pa