产品概况
氮化硅合成炉是专门用于制备高纯氮化硅（Si₃N₄）粉体或坯体的专用高温热工设备，核心原理是在高温、高纯氮气气氛下，通过硅粉直接氮化反应或硅的气相氮化反应完成合成，设备需满足高氮分压、精准控温、低杂质污染的工艺要求。
氮化硅合成炉使用温度1500℃，14寸液晶触摸屏程序设置，控温精准，经过充气升温使金属硅粉转变成氮化硅粉，在氮化过程中可以通过氢气进行还原,通入氩气控制整个氮化过程,使氮化硅粉的α相高于95%,,Fe.O.N.A1.Ca都能达到优良品质,整机配套脱氧脱水系统。
氮化硅是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损，高温抗氧化,能抵抗冷热冲击，生产过程中加热到1000℃以上，急冷急剧也不会碎裂。正是由于氮化硅陶瓷具有优异的特性，人们通常用它来制造轴承、气轮机叶片、机械密封环、永久性模具等机械构件。液晶触摸屏控制操作简单，该设备生产过程安全稳定，保证氮化硅生产的高纯度。可储存30条工艺曲线，并具有PID参数自整定功能。人性化配置，也可以实现一键智能操作。
氮化硅合成专用炉采用硅钼棒做发热体加热，最高温度可达1600℃。专用炉的大小尺寸和加热功率可根据用户的需要设计、制造。
技术参数
1、设备型号：DHG1600
2、保温材料：高纯氧化铝纤维
3、加热方式：硅钼棒
4、测温元件：钨铼热电偶
5、控温方式：液晶触摸屏+PLC控制
6、真空度：≤10Pa(冷态空载)
7、气氛保护：可通氮气，氩气等惰性气体(正压≤0.08Mpa)
8、工作区尺寸：400*300*300mm、500*400*400mm、600*500*500mm/定制尺寸
9、工作温度：≤1600℃
10、控温精度：±1℃
11、工作电源：380V
12、炉体结构：卧式侧开门/立式底部升降
热线电话 400-820-8727
上海骋翰光学精密机械有限公司 沪ICP备2026013026号-1
中文简体
English
Optical crystal materials
Instrument and equipment products
Technical cooperation
Technology R&D