产品概况
石英真空腔为高真空实验室真空设备，核心搭载KYKY分子泵真空系统，是实现超高真空工艺的关键配置，适配半导体材料、功能陶瓷等对环境洁净度要求严苛的真空存储环境。分子泵的高效抽气能力，使设备极限真空度可达6.67*10-3Pa，能有效防止材料污染，保障材料性能纯度。
设备腔体采用一端封圆底的石英管，有效使用尺寸φ300*400mm，搭配不锈钢法兰实现高密封连接，石英材质耐高温且透光；电气系统为380V三相供电，总功率约2KW。
技术参数
1、真空机组：KYKY分子泵
2、极限真空度：6.67*10-3Pa
3、炉管有效尺寸：φ300*400mm
4、真空管材质：石英管（一端封圆底）
5、连接部件：不锈钢法兰
6、总设计功率：约2KW
7、供电电源：380V 50HZ
8、功率控制及散热：三相可控硅功率模块+独立强制风冷
热线电话 400-820-8727
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