产品概况
这款中频感应炉是专为晶体材料研发设计的高精度设备，集成中频感应加热、高真空控制与精密提拉及称重系统，是激光晶体、压电晶体、氟化物晶体等材料生长制备的首选设备。
设备炉体内腔直径400mm、高700mm，搭载25KW的IGBT中频电源，功率稳定精度＜0.5%，能为晶体生长提供均匀且稳定的热场。运动系统支持300mm行程，长晶速度0.1～15mm/h精准可调，搭配1～30r/min旋转控制，可有效保障晶体结构完整性。真空系统采用旋片机械泵+扩散泵组合，冷炉极限压力可达2*10-2Pa，同时支持0～500SCCM/0～10SLM气体流量精准调控。整机配备1kg量程、0.05g分辨率的称重系统，实时捕捉晶体生长质量变化，为工艺优化提供精准数据支撑。
技术参数
1、行程：300mm
2、长晶速度：0.1～15mm/h
3、快速移动速度：50～150mm/min
4、旋转速度：1～30r/min
5、炉体内腔尺寸：φ400*700mm(内径*内高)
6、中频功率：25KW
7、工作频率：2.5～8kHz（可选）
8、功率因数：＞0.9
9、转换效率：＞70～95%
10、功率稳定精度：＜0.5%
11、真空机组配置：旋片机械泵+扩散泵
12、极限真空度：≤10Pa（开启扩散泵冷炉极限压力2*10-2Pa）
13、炉内流动气体控制：0～500SCCM、0～10SLM（可选配多路质量流量计）
14、称重量程：1kg
15、称重分辨率：0.05g
热线电话 400-820-8727
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