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气体流量的测量控制在工业生产过程广泛地运用,质量流量控制器(MFC)除测量外还可以控制气体的质量流量。MFM/MFC具有不因温度和压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点随着微电子技术的发展测量手段和补偿方法得到了很大的提高。
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